多晶圭废气净化方案
一、废气污染源工况
硅料酸洗车间需用硝酸和氢氟酸对多晶硅进行清洗，多晶硅酸洗废气主要为HF、HCL、氮氧化合物。
二、净化工艺
净化工艺有：液体中和固体吸附法。
液体中和吸收法主要是利用酸碱中和原理对HF、HCL、氮氧化合物进行净化。
固体吸附法是采用吸附的原理对HF、HCL、氮氧化合物进行吸附吸收，吸附剂为活性炭。
三、我们的净化方案
针对多晶硅酸洗废气特点，结合我们给老客户的废气处理工程实践经验和客户运行经验，摸索出一套针对单晶硅酸洗废气的排风净化工艺和设备。酸洗废气采用多级串联吸收方式吸附净化。
1、净化工艺流程图（见附图1）
2、净化工艺简介
净化流程采用湿法和干法相结合多极净化方式。废气首先进入*级填料塔，吸收溶液为3%氢氧化钠，对含HF、HCL、氮氧化合物废气进行初步吸收，合理控制气液接触时间。经初步吸收后的废气进入第二级填料塔，吸收溶液为3%氢氧化钠，在第二级填料塔后安装高效除湿装置，祛除水汽。脱水后的废气进入干式吸收塔，吸收塔内为活性炭吸附剂。*、二级填料塔中的废水经管道排入污水处理站，干式吸收塔的吸附剂饱和后更换，废吸附剂作为无害垃圾可用于填坑或修路等，无二次污染。
五、设备参数
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2、净化工艺简介净化流程采用湿法和干法相结合多极净化方式。废气首先进入*级填料塔，吸收溶液为3%氢氧化钠，对含HF、HCL、氮氧化合物废气进行初步吸收，合理控制气液接触时间。经初步吸收后的废气进入第二级填料塔，吸收溶液为3%氢氧化钠，在第二级填料塔后安装高效除湿装置，祛除水汽。脱水后的废气进入干式吸收塔，吸收塔内为活性炭吸附剂。*、二级填料塔中的废水经管道排入污水处理站，干式吸收塔的吸附剂饱和后更换，废吸附剂作为无害垃圾可用于填坑或修路等，无二次污染。五、设备参数
